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EcoPlasma E
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...處理→渦流電漿高溫裂解(2,000~10,000C°)→水洗可溶解毒氣→水洗降溫排氣處理氣體：PFCs&HFCsGas(CF4、SF6、N...
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EcoPlasma
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電漿水洗式尾氣(廢氣)處理機
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Plasma&WetGasScrubberforCVD&MatelEtch&PADEtch.*VariablePlasmaPower.-Lowerpower5KW~10KWforNF3.-...
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棨揚企業有限公司
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棨揚企業有限公司是一家專業從事半導體及傳統產業後段廢氣(溫室氣體PFCsGas,HFCsGas)、有毒氣體、異味處理、及制...
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燃燒水洗式尾氣(廢氣)處理機
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Scrubber
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吸附式Local scrubber
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機台類型：吸附式.工藝流程：廢氣進入吸附桶→常溫吸附特定廢氣.處理氣體：可在常溫被吸附劑吸附之廢氣.DryScrubbe...
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Ecowet
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工艺流程：废气进入水洗腔室一,二,三腔室→常温水洗可被水处里的气体.处理气体：可在常温被水处理之废气.WetGasScr...
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水洗式local Scrubber
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WetGasScrubber.LongPMTerm.-InletCleaningSystem(Anti-powder...ShortPipingbetweenPump&Scrubber.-LowPosit...
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Local Scrubber
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處理MOCVD,EPI,外延製程,NH3烤箱,及高氫氣(H2)專用.