第三章製程尾氣處理研究實驗設備3.1 製程尾氣處理設備Local ... | 全台第三方支付網

原理是將PFCS分子裂解後，使F-和H反應生成HF，.再以濕式水洗方式將水溶性的HF移除，如圖3.1。圖3.1燃燒水洗式LocalScrubber.觸媒分解處理流量為60L/min，蝕刻製程 ...

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