Local Scrubber 流程 | 全台第三方支付網
達思DASEnvironmentalExpert的廢氣處理設備(DASlocalscrubbers)能處理可冷凝、可燃燒、具腐蝕性、易起反應、有毒和易自燃的氣體(例如:矽烷、有機矽烷、 ...,執行本專案所購置之「燃燒水洗式」尾氣破壞處理設備(LocalScrubber,LS)及儀.控設備安裝、...區,可參見圖3之製造生產流程,製程相關質/能流向如圖4所示。,工藝流程:廢氣預熱處理→渦流電漿高溫裂解(2,000~10,000C°)→水洗可溶解...機台類型:EPSystem安裝於LocalScrubber後端或是CentralScrubber前或後方( ...,,空氣污染防制處理流程.乾式製程機台...理設備(LocalScrubber)進...
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專為高科技產業所提供的廢氣處理系統 | 全台第三方支付網
達思DAS Environmental Expert的廢氣處理設備(DAS local scrubbers) 能處理可冷凝、可燃燒、具腐蝕性、易起反應、有毒和易自燃的氣體(例如: 矽烷、有機矽烷、 ... Read More
旺宏電子晶圓五廠製程機台新設尾氣溫室氣體破壞處理設備專案 ... | 全台第三方支付網
執行本專案所購置之「燃燒水洗式」尾氣破壞處理設備(Local Scrubber, LS)及儀. 控設備安裝、 ... 區,可參見圖3 之製造生產流程,製程相關質/能流向如圖4 所示。 Read More
棨揚企業有限公司 | 全台第三方支付網
工藝流程:廢氣預熱處理→渦流電漿高溫裂解(2,000~10,000C°)→水洗可溶解 ... 機台類型:EP System 安裝於Local Scrubber 後端或是Central Scrubber 前或後方( ... Read More
標竿案例 | 全台第三方支付網
空氣污染防制 | 全台第三方支付網
空氣污染防制處理流程. 乾式製程機台 ... 理設備(Local Scrubber)進行第一階段的源頭處理,削減率可達95% 以上,之後再送到中央式處理設. 備(Central ... Read More
竹科半導體廠廠務端local scrubber的疑問??? | 全台第三方支付網
local scrubber 負責處理機台製程剩餘的特殊氣體.特殊氣體包含很多如AS砷.磷.硼.氯.氫氣.還有許多你一輩子在路上都聞不到的易爆 ... Read More
第一章緒論 | 全台第三方支付網
由 張勝祈 著作 · 2007 — 圖2-6 為晶圓廠特殊氣體供應及排放流程圖. 晶圓廠典型的氣體危害來源包括機台或管件的洩漏等,另Local. Scrubber 在處理製程尾氣時,如果發生洗滌塔或Water ... Read More
第三章製程尾氣處理研究實驗設備3.1 製程尾氣處理設備Local ... | 全台第三方支付網
台灣所使用之Local Scrubber 約有十幾種廠牌型號,而依其原理大概可. 分電熱水洗式、燃燒式、填充水洗式、乾式吸附式..等,端視使用者的需求而. 決定應使用何 ... Read More
第二章研究方法與流程2.1 製程最佳化參數調整研究2.2 製程 ... | 全台第三方支付網
由 吳麗霞 著作 · 2005 — 製程尾氣(如SiH4, NF3…)經機台後方的Dry pump 抽氣並以. N2 purge 後進入製程尾氣處理設備Local Scrubber,經製程尾氣處理設備Local. Scrubber處理過的尾氣再 ... Read More
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